真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個突破性技術(shù)，利用物理或者化學(xué)方法并吸收一系列新技術(shù)而成的工藝，目的就是為了在實際生產(chǎn)中為產(chǎn)品創(chuàng)造薄膜保護層。工藝主要分為真空蒸鍍、磁控濺射鍍膜、離子鍍?nèi)N。

為什么需要進行真空鍍膜呢？這項工藝已經(jīng)成為了電子元器件制造中的一項不可或缺的技術(shù)，主要是為了使產(chǎn)品表面具有耐磨損耐高溫，耐腐蝕等優(yōu)于產(chǎn)品本身的性能，從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量，延長加工產(chǎn)品的使用壽命，不僅如此，還可以節(jié)約能源，獲得更為顯著的技術(shù)經(jīng)濟效益。手機、藍牙耳機、智能手環(huán)等等越來越多的電子產(chǎn)品融入到人們的生活當(dāng)中，電子產(chǎn)品使用頻率如此高，損壞的機率也就增加了，進水是現(xiàn)在電子產(chǎn)品損壞的主要原因。

實際應(yīng)用中，我們往往會根據(jù)產(chǎn)品的性質(zhì)來決定選用哪種真空鍍膜工藝。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射)，晶向(外沿)生長的控制也比較一般。磁控濺射鍍主要用于金屬產(chǎn)品，蒸發(fā)鍍主要用于塑膠產(chǎn)品，光學(xué)離子鍍主要用于璃玻產(chǎn)品。真空電鍍?yōu)榇趴貫R射鍍，以電鍍不銹鋼產(chǎn)品材質(zhì)為主，可以電鍍金色、玫瑰金色、黑色、槍色、藍色等顏色，質(zhì)量穩(wěn)定，品質(zhì)保障。

微電子機械系統(tǒng)（MEMS）Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護材料。1~100納米的尺度里，研究電子、原子和分子內(nèi)的運動規(guī)律和特性的一項嶄新技術(shù)。Parylene在傳感器領(lǐng)域中的應(yīng)用，除了作絕緣介質(zhì)外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和，對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。

Parylene在電子產(chǎn)品領(lǐng)域的優(yōu)點:

防鹽霧，防氧化，防潮濕三防性能優(yōu)異同時在酷熱及低溫-270攝氏度條件下均保持良好的防護特性；

極低的介電常數(shù)和超薄的厚度，高頻損耗小；

*滲入芯片與基板間的微細間隙（甚至達10μm），提供完整的保護；

*大幅增強芯片-基板間導(dǎo)線（25μm粗細）的連接強度；

*超薄避免了溫度交變（-120~80）條件下涂層內(nèi)部應(yīng)力對電路及性能的影響；

*固定線路板上的金屬屑和焊粒，避免顆粒對電路的影響， 尤其是航天或軍事等維修困難的場合；

*在滿足涂層功能的同時，對基體的機械性能不產(chǎn)生影響

*真空鍍膜工藝大大減少觸摸對線路板的損害。

*固定焊點，減少虛焊脫落的概率