對檢漏方法的要求：穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

真空檢漏的具體方法為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。(1)極限壓力合格,升壓率不合格極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。

氦質譜檢漏主要領域：原子能工業——氣體擴散處理系統；高能物理研究院——及其配件；氦質譜檢漏設備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。氦質譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種。