目前，幾乎任何材料都可以通過真空鍍膜工藝涂覆到其他材料的表面上，這為真空鍍膜技術在各種工業領域中的應用開辟了更加廣闊的前景。
用真空鍍膜技術代替傳統的電鍍工藝，不但能節省大量的摸材和降低能耗，而且還會消除濕法鍍膜中所產生的環境行染。因此國外在鋼鐵零件涂鍍防瘸層和保護源方面，已采用真空搜膜工藝來代替電鍍工藝。在冶金工業中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護層已很普遍;在機械制造業中，真空搜膜工藝用于改變改變某些加工工藝和節約貴重的原材料，如飛機潯輪發動機的葉片已經不用價h格昂貴的妤高溫金屬制造，而是采用價格低廉易加工材料，成形后再用真空被膜的方法在葉片表面上力鍍耐高溫，耐南蝕的防護層。
考夫曼離子源是應用較早的離子源。屬于柵格式離子源。首先由陰極在離子源內腔產生等離子體，讓后由兩層或三層陽極柵格將離子從等離子腔體中抽取出來。這種離子源產生的離子方向性強，離子能量帶寬集中，可廣泛應用于真空鍍膜中。缺點是陰極（往往是鎢絲）在反應氣體中很快就燒掉了，另外就是離子流量有極限，對需要大離子流量的用戶可能不適和。
霍爾離子源是陽極在一個強軸向磁場的協作下將工藝氣體等離子化。這個軸向磁場的強不平衡性將氣體離子分離并形成離子束。由于軸向磁場的作用太強，霍爾離子源離子束需要補充電子以中和離子流。常見的中和源就是鎢絲（陰極）。
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