氣體管路施工技術要求及驗收標準？

技術要求

(1)總體設計：管道采用1/4”外徑，經過AP處理的高等級潔凈不銹鋼管道。所有集中在氣瓶柜的管路有適當的路徑進入各實驗桌，在使用儀器的附近接氣體考克。

(2)管路設計、規劃要點：

氣體管路系統應具有良好的氣密性，可靠性，可維護性。

1、氣瓶閥出口為GB標準的外螺紋形式，為了便于管路系統與氣瓶連接，故從氣瓶閥出口到管道系統應設有轉換接頭(氣瓶接頭)。

2、為了方便更換氣瓶，從上述氣瓶接頭到調節閥之間應設有耐高壓的不銹鋼螺旋管。

3、由于氣瓶內部的氣體壓力為150Bar左右，使用點的壓力較小，氣體壓力有變化，而且數值差距較大，故應在氣瓶出口處設置一級減壓閥(雙表頭)。

4、氣路系統中應設有在緊急情況下能夠快速切斷供氣的裝置—開關閥，為了開關系統的方便和快捷，本項目中開關閥采用球閥。

5、為了保持氣體的純度及管道系統的氣密性，所有管道采用進口316L不銹鋼管道，內表面按規定處理。

6、管道與閥件的連接，管道與管道的連接應保證系統的氣密性，同時要便于維修及更換閥件。

7、管道固定件要求堅固，輕巧，耐用。

實驗室氣體管道供氣系統

實驗室氣路安裝指實驗室氣體工程，即從氣瓶至儀器終端之間連接管線，JHP一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節閥等部分組成。目前主流氣路編排主要為實驗室集中供氣系統。

公司提供全i方位的實驗室氣體管道供氣系統，滿足不同實驗的用氣要求與安全。采用匯流排供氣設備，進行雙瓶帶手動、半自動、全自動切換功能，帶有低壓報警裝置，實時監控氣體壓力，濃度偵測報警和排風，保證客戶正常用氣需求和生命財產安全。

各種氣體配管配件要求

在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。

高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。實驗室是一個特殊的工作區域，從安全、經濟社會效應及實際使用效益角度考慮，形成系統的供氣迫在眉睫，實驗室供氣系統的安全系數應通過集中供氣來實現，氣瓶供氣已逐步淘汰。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。