超純金屬，指的化學雜質和物理雜質 (晶體缺陷) 含量的金屬。目前主要以化學雜質的含量為標準，常以雜質在金屬中總含 量的百萬分之幾表示 。超純金屬是相對高純度的金屬，一般指金屬純度達到純度9以上的金屬，物理雜質的概念才是有意義的。

材料的純度對其性能，特別是微電子學、光電子學性能影響很大，現代高技術產業要求制備出超純金屬以利于制作器件。

人類社會的存在，科學技術的進步和發展，已成為21世紀世界各國首要的戰略儲備物資，且與各國的政治經濟和社會發展有著息息相關的緊密聯系，在已知的傳統產業和應用領域中，高純材料、合金、各種深加工的制品（半成品）及化學制品，已被廣泛應用到冶金鋼鐵，石油化工，有機化工，化工，電子電器，汽車制造，光學玻璃，玻璃纖維。根據電解質的種類可分為氯化物熔鹽體系和氟化物-氧化物熔鹽體系電解法，多用于制取以鑭為主的混合稀土金屬以及鑭、鐠、釹等單一稀土金屬。

金屬靶材材質分為：

鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。因此需精密的量測，故要求有一套高精密的量測系統來支持，方能達到產品的設計要求。

金屬靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。

簡單說的話，例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜......鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

應用于顯示屏的阻擋層或調色層，筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等.