真空設備檢漏

設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。氫氣檢漏法的優勢制冷、空調行業檢漏技術的現狀：在產品部件生產過程中，目前常使用氦檢漏技術來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。

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如何正確使用氦氣檢漏設備？

在填充檢漏氣體之前，有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。

如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進行泄漏測試，那么氦氣檢漏設備就不能檢測到一些泄漏孔。因此，在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現的泄漏孔。

氫氣檢漏設備

（1）檢漏儀：采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。（2）示蹤氣體充注控制器：對于批量生產的用戶，好采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的（ISO10156），無毒性和腐蝕性，也不會對設備和環境產生不利影響。世界領1先水進的聲學技術真空打檢機/真空檢漏機當容器經過探頭時，探頭在容器頂部施加一個“非接觸式”的敲擊動作，使容器頂部發出聲音，不同真空度的容器會發出不同的聲音，先進的聲學技術根據聲音來判斷容器是否發生泄漏。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優點。