半導電膠輥通常用在復印機、電子傳真裝置等辦公設備中。半導電膠輥屬于半導電元件,且電阻值受環境影響較大,對產品的導電性要求極其嚴格,因為打印的全過程是碳粉通過電場的壓力來實施,所以輕微的電性誤差將導致在打印過程中文字和圖片深淺不一的現象。在信息存儲產業中,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質量提出了越來越高的要求,需求數量也逐年增加。因此需精密的量測,故要求有一套高精密的量測系統來支持,方能達到產品的設計要求。
各種純度鋁中的雜質含量及剩余電阻率如表2所示。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定,其值約為2×10-5。現代科學技術的發展趨勢是對金屬純度要求越來越高。但導電橡膠的導電率是如此之高,以致其不能對色粉充電至較高程度。因為金屬未能達到一定純度的情況下,金屬特性往往為雜質所掩蓋。不僅是半導體材料,其他金屬也有同樣的情況,由于雜質存在影響金屬的性能。
鎢過去用作燈泡的燈絲,由于脆性而使處理上有困難,在適當提純之后,這種缺點即可以克服(鎢絲也有摻雜及加工問題)。
鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數、良好的熱穩定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經被廣泛的應用和研究。現在行業中通用的測量方法基本是手動進行的,其劣勢在于手動測試受人為因素(用力的大小,接觸面積等)影響較大,手動測試無法實現同一被測物目標的多次數值的重現,手動測試時只能達到每次測試出來一個數值,無法做產品的分析。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的性能大幅度下降。