所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。人所以，可知無塵室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/min。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。

發塵量無塵室內的發塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內；A、材質：棉質發塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。產品，材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般量小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發塵量也不斷減少。A、材質：棉質發塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。B、樣式：大掛式發塵量大，上下分裝型次之，全罩型少；C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍；D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內維護結構表面發塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。