廢氣處理設備的工作原理是將氣體中的污染物分離，轉化為無害物質，從而達到凈化氣體的目的。原理:廢氣處理設備以曝氣的形式將惡臭物質分散到含活性污泥的混合液中，通過微生物懸浮生長將惡臭物質降解。可廣泛應用。電子(Te)≥離子(Ti)的溫度可達104K以上，而離子和中性粒子的溫度可低至300~500K。被吸附的氣體組分稱為吸附劑，多孔的固體物質稱為吸附劑。另一方面，低溫等離子體處于非平衡態，各粒子的溫度不相同。

活性炭是應用早、用途較廣的一種優良吸附劑。它是由各種含碳物質如煤、木材、石油焦、果殼、果核等炭化后，再用水蒸氣或化學藥品進行活化處理，制成孔穴十分豐富的吸附劑，比表面積一般在700～1500m2/g范圍內，具有優異的吸附能力。孔徑分布一般為：活性炭50?以下，活性焦炭20?以下，炭分子篩10?以下。炭分子篩是新近發展的一種孔徑均一的分子篩型新品種，具有良好的選擇吸附能力。活性炭是一種具有非極性表面，為疏水性和親有機物的吸附劑，故活性炭常常被用來吸附回收空氣中的和惡臭物質，在環境保護方面用來處理工業廢水和治理某些氣態污染物。

廢氣處理設備的處理方法低溫等離子凈化法低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子等活性粒子使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。