選擇氣體質量流量控制器和訂貨時應當注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質量﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產(chǎn)品特點﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進氣端和出氣端之間的壓差,選型時要注意,使用時也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規(guī)格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類,流量范圍外準確度和接頭形式也很重要,常見的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據(jù)流量范圍來定制。
氣體質量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?
氣體質量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿量程值; 若高過0.3MPa, 有可能在關閉狀態(tài)下仍有氣體通過,即電磁閥漏氣。客戶應用MFC時, 無論客戶工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內, 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
使用氣體質量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進到氣體質量流量控制器內部會阻塞傳感器和分流器, 導致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進到MFC, 一旦有液體進入到MFC內部會導致無法控制,所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置,假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標準實際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預熱,保證MFC在不通氣時,瞬時流量處于0的位置,如果不通氣時,瞬時流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進行調零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質量流量控制器特點
利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,再通過微電子控制技術,將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
采用全新的進口傳感技術以及高精度的機械加工技術,能實現(xiàn)微小流量測量和控制,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制