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無論監(jiān)控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚,汽車鍍膜設(shè)備制造商,一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍?cè)O(shè)備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長(zhǎng)期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的,所以幾乎是不可能消除的,汽車鍍膜設(shè)備銷售,但對(duì)真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響較小。

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真空鍍膜機(jī)與高真空的關(guān)系。
蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)工作時(shí)真空材料蒸發(fā)出來的原子或分子不要受空氣分子的阻擋而直接濺落到固體的表面,這樣,鍍膜層形成的速度高,膜層結(jié)合力強(qiáng),成膜質(zhì)量也好。
反之,如果真空度低,有大量的空氣分子存在,一方面,蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)蒸發(fā)出來的原子或分子與空氣分子碰撞,阻礙了膜材分子的擴(kuò)散,降低了膜層形成的速度,影響了膜的均勻性與結(jié)合力;另一方面,空氣的導(dǎo)熱使得膜材的溫度不能很快地升高,必然要加大加熱功率;更有甚者,空氣的存在可能使膜材的某些成分氧化,引起成分變性;在連接著抽氣機(jī)的情況下,若不能很快完成鍍膜,膜料將被抽走。
因此,真空鍍膜機(jī)需要在高真空條件下進(jìn)行工作;當(dāng)然,真空度也不需要絕dui的高。事實(shí)上,只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距離即可。如果需要確保真空鍍膜產(chǎn)品厚度的均勻性,可使用真空鍍膜光密度在線測(cè)試儀來連續(xù)監(jiān)控鍍膜品質(zhì)。
