光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

無(wú)塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無(wú)塵潔凈房間。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A型級(jí)別。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A型級(jí)別，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

凈化車間潔凈度檢測(cè)時(shí)，使用光散射粒子計(jì)數(shù)器的取樣量：關(guān)于塵土粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)時(shí)的空氣取樣量，在國(guó)標(biāo)GBJ73-84中規(guī)則：關(guān)于100級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于1L，關(guān)于1000~10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L，關(guān)于10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。關(guān)于100級(jí)凈化車間，宜選用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。