無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。

每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精準的控制才行。個人物品，例如煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進潔凈室。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。