排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等，凈化車間設計時，要根據實際情況選擇。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發展，對凈化車間的依賴度也越來越高。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。

凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩定性、可靠性、經濟性。而隨著凈化技術的發展，建設凈化車間的技術含量也越來越高，非人士不能也。除了在生產領域，凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

在實際施工中，凈化項目通常分為，分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是，易于進行多塵和無塵的交叉操作，應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免，應該防止灰塵和有效清潔。凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩定性、可靠性、經濟性。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。

凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規范進行。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互獨立，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產規模相適應。