渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點

渦旋真空泵主要由5 個部件組成：

（1）動靜渦旋盤副與基座；一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯, 兩者之間保證180°相位差組成的一對渦旋盤副機構(gòu)。

（2）曲軸：保證動渦旋盤繞靜渦旋盤轉(zhuǎn)動的偏心機構(gòu)。

（3）密封件：保證動、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

（4） 防自轉(zhuǎn)機構(gòu)：保證動、靜盤180°相位差的機構(gòu)。

（5）電機：輸出約1500r/min的動力機構(gòu)。

它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低。采用空氣冷卻，無需水冷。

渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:

品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。

科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風洞試驗、真空環(huán)境模擬等。

電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。

航天航空：釬焊、真空鍍膜、電子束焊、風洞試驗、空間環(huán)境模擬等。

冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

核工業(yè)：零泄露爪泵可抽除UF6氣體

渦旋真空泵組成與工作原理

無油渦旋真空泵由泵頭、電機、機座等構(gòu)成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼等。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤付構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空。

主要用途

真空鍍膜機，分析測試儀器，真空排氣/回收裝置，真空爐，排氣臺，高能束線，等離子清洗，檢漏儀，真空包裝機，真空吸附搬運。