光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

潔凈室的管理規(guī)范：

1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶入潔凈室。

2、操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等。

在對(duì)潔凈室凈化工程車間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí)，雖然規(guī)則了空氣的小采樣量，但在實(shí)際工作中，咱們應(yīng)在確保小采樣量條件條件下，依據(jù)已有的檢測(cè)設(shè)備，盡量選用大流量的塵土粒子計(jì)數(shù)器。假如取樣空氣用于計(jì)算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動(dòng)力條件的影響，則計(jì)算結(jié)果也不受影響。因此，凈化車間區(qū)域內(nèi)的非等動(dòng)力取樣僅對(duì)大于或等于0.5um粒子才有含義。