真空設備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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氦氣檢漏儀進行氦氣檢漏方法操作：

1、抽真空至5Pa以下就可以開始檢測；

2、插上檢漏儀電源，關閉上部手動擋板閥，開啟檢漏儀總電源，此時，“放氣”燈亮起，等待系統運行；

3、當“系統正常”及旁邊的兩個燈都顯示為綠色時，觀察預置參數，應為10-15，一般取15，觀察數值，應為10的-8至-9次方時，可以開始氦氣檢漏（等待幾分鐘）；

4、按“檢漏”鍵，緩慢開啟頂部手動擋板閥，注意：檢漏口的壓強不得超過10MPa,否則機器易損壞；

5、數值穩定后，先記錄下來，這就是“本底”；

6、逐個將氦氣充入焊縫，并封堵插入口，將數值變動記錄下來。全部完成充氦氣后再觀察20分鐘，看數值有無大的變動。

7、關機時，應先關閉上部手動擋板閥，然后開啟放氣鍵，關電源。

氫氣純度分析儀

可實時監測氫氣、CO2的純度。氣體置換時主要通過氣體純度監測裝置的樣氣進口來監控氣體純度；量程氣進口只在置換時用，可實時調看供氫純度或供CO2純度。參比空氣進口為調試時用。純度儀回氣排空

工作原理：

儀器由特殊設計的風機，壓差交送器及壓差計組成，實際則是風機產生的壓差，但由于此壓差值與氣體的密度有關，而氣體密度又直接與氣體的成分成比例，故只要測出風機壓差就等于測出了氣體密度，實際上兩只壓差計是直接按密度和純度標注的。