真空設備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢設備或密封裝置器壁的一側，用儀器或某一方法在另一側懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質，從而達到檢測的目的。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉使用過程中監視系統可能發生的泄漏及其變化。

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真空設備檢漏

氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。采用后一種原理制造的超聲波轉換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。質譜儀要想正常工作，需要真空環境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現為分子流，質譜儀才能穩定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統。

氫氣檢漏設備

（1）檢漏儀：采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應速度和更好的檢漏精度。（2）示蹤氣體充注控制器：對于批量生產的用戶，好采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的（ISO10156），無毒性和腐蝕性，也不會對設備和環境產生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優點。