真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達到檢測的目的。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

氫氣檢漏設(shè)備

（1）檢漏儀：采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。（2）示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，好采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的（ISO10156），無毒性和腐蝕性，也不會對設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優(yōu)點。