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分子泵使用中有哪些注意事項？2.一文了解分子泵在半導體行業的應用3.如何科學地獲得超高真空？4.國際熱核聚變試驗堆（ITER）的真空結構5.一千多臺樣泵用于各項測試，僅選很優方案，揭秘新型分子泵測試方法；真空聚焦真空行業新媒體平臺：渦輪分子泵應用于質譜系統分子泵應用于緊湊型質譜系統。

質譜分析是指與質譜分析相結合的一種核分析技術,用于實現同位素比值的測定.需要清潔無油的高真空環境,一般采用干泵配備渦輪分子泵實現高真空環境.質譜系統需要分子泵抽真空原因:1.電子加速運動的需要;2.電子正常工作的需要;3.加速管微波電場的需要(避免加速管中出現微波打火,必須抽到高真空). 中科院某大型科技工程項目,工程的主體建筑是三大:一臺150MeV（1.5億電子伏特）的電子直線、一臺能在0.5秒內把電子束能量從150MeV提升到3.5GeV（35億電子伏特）的量增強器，以及一臺周長432米的3.5GeV電子儲存環，

經過技術推薦，成功采購愛發科渦輪分子泵和干泵，渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.

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分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。抽氣系統裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統的操作方法與擴散泵抽氣系統相似。在開始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關著的，而前級管道閥是打開的。首先關閉前級閥，啟動粗抽泵（兼前級泵），打開粗抽閥開始對真空室進行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100Pa時關閉粗抽閥，打開前級管道閥，再啟動渦輪分子泵（需先接通冷卻系統）。

如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后（一般需5~10min）加注液氮。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統粗抽系統的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來說，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。

在壓力為100到150Pa時關閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，這樣做會引起輕微而滯后的瞬時減速，但這對抽氣并無影響。正如擴散泵抽氣系統那樣，渦輪分子泵系統中的很主要的物質是水蒸氣，其臭氣時間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個系統抽除水蒸氣的速度就會比同樣抽速的無冷阱擴散泵略慢一些。

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分子泵機組耗電：

2.38kW×6720h=年耗電15993.60度×1元/度

=15993.60元原來的耗電：

8.8kW×6720h=年耗電59136度×1元/度

=59136元通過上述計算，幾乎當年就能從電費一項收回投資費用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵機組電費節約贏利43142.40元。

該分子泵近乎免維護，所以如果考慮維護費用，經濟效益更可觀。該分子泵替換運用的成功，為節能減排貢獻巨大力量，做到了制造應用與雙贏，并且拓展了分子泵的應用領域。其他好處除了節省成本以外，通過對分子泵替換的圓排車所制造的節能燈進行測試，燈具在產品壽命和質量上也得到明顯提高，通過質譜分析，系統的油污染得到降低，光譜等分析都顯示，應用分子泵排氣制造的燈具性能有很大的改善。

與此同時，根據在其他多家特種燈（金鹵燈、航標燈等）、車燈、半導體照明燈客戶的實際應用反饋，分子泵對降低生產能耗、提高產品性能和使用壽命等方面都起到明顯的促進作用。在部分國內外愛發科的照明生產企業中的應用，分子泵都得到好評和大量替換配套。結 語通過這個案例可以看出，將高壓強分子泵機組直接用到圓排機上，實現了降耗節能、保證質量的目標，完全可以替代。

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