廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent真空泵配件廠家

抗振動測試 通過對一批泵（處于運行和非運行條件下）進行一系列測試，證明對外部源產生振動的耐受性。在 105 分鐘的振動周期中，全轉速和不運行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩定性以及耐振性，因為未觀察到轉子機械接觸或泵運行狀態的改變，且泵不平衡性仍然遠低于閾值。溫度測試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運行狀態）以及 0 °C至 40 °C（處于運行狀態）下暴露 86 小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證 11 次，結果顯示僅存在的變異，遠低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩定性。

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殊潤滑劑潤滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統內相關設備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。

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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。

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擴散泵工作時，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動，在流動的過程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會汽化，而沸點比較高的大分子組分，則會在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴散泵噴塔各級噴嘴之間是互相聯通的，而安捷倫擴散泵的噴塔各級噴嘴彼此獨立，特別是噴塔，只有沸點高的大分子油蒸汽才會從這里噴出，這一特點不僅擴散泵極限真空很好，而且由于高沸點的泵油更不容易二次揮發，使得泵的返油率很低。

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分子泵：安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨有的AFS懸浮軸承技術，工作時振動非常低，被廣泛地應用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個位于日本的業界，從2015年起，在其生產的電子顯微鏡上使用了1000多臺安捷倫分子泵，泵的可靠性非常接近，實測的振動水平低于0.01米/秒2，噪聲等級更是只有40dB(A)。

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當磁場逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。