5分鐘前 景寧音箱曝光顯影來(lái)樣定制服務(wù)至上「在線咨詢」[利成感光38dbdb8]內(nèi)容:通過(guò)曝光顯影技術(shù),可以在微米尺度上制造出高精度的微電子元件。曝光顯影是一種攝影技術(shù)中的過(guò)程,主要用于將攝影膠片、電影膠片或電子傳感器中記錄的光影信息轉(zhuǎn)化為可見影像的過(guò)程。曝光是將光照射在感光材料上的過(guò)程,曝光一般在曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行,目前的曝光機(jī)依據(jù)光源冷卻方式可分為風(fēng)冷和水冷,曝光質(zhì)量取決于除干膜致抗蝕劑、光源選擇、曝光時(shí)間、菲林膠片質(zhì)量等因素。

曝光不足,導(dǎo)致單體聚合不,那么在顯影過(guò)程中,會(huì)使的膠膜變軟,線條不清晰,色澤暗淡,脫膠。曝光過(guò)度,會(huì)造成難顯影,留有殘膠。同時(shí)曝光影響圖案的線寬,過(guò)量曝光會(huì)使圖形線條變細(xì),蝕刻產(chǎn)品線條變粗。顯影噴淋(developer dispense):在硅片表面涂覆顯影液。為了將顯影液均勻地涂覆到硅片表面上,顯影噴嘴分為以下幾種:E2噴嘴,LD噴嘴,GP噴嘴,MGP噴嘴等。

曝光是將需要蝕刻的圖案通過(guò)光繪轉(zhuǎn)移到兩張一樣的菲林膠片上,然后通過(guò)機(jī)器定位或者人工定位的方式去將菲林對(duì)準(zhǔn),再將涂布感光油墨的蝕刻片置于菲林中間,固定后進(jìn)行曝光。3D玻璃顯影曝光技術(shù)在HW mateRs用到了此技術(shù),曝光時(shí)菲林膠片黑色部分的鋼片不被感光,對(duì)于空白的蝕刻鋼片感光,鋼片感光的油墨發(fā)生聚合反應(yīng),然后通過(guò)顯影機(jī),蝕刻鋼片上的感光油墨不被顯影液所融化,

曝光步驟是將光線聚焦在光刻膠上,而顯影步驟則是將底材浸泡在顯影劑中達(dá)到消除未曝光區(qū)域的目的。通過(guò)曝光顯影技術(shù),可以在微米尺度上制造出高精度的微電子元器件和芯片。顯影液表面停留(puddle):為了讓顯影液與光刻膠進(jìn)行充分反應(yīng),顯影液噴淋后需要在硅片表面停留一般為幾十秒到一兩分鐘。為感光的油墨被顯影液去除,通過(guò)這樣的方式,需要蝕刻的圖案顯影在鋼片上面了。
