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公司基本資料信息
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氦檢漏設(shè)備
氣密性檢測(cè)是確保產(chǎn)品質(zhì)量,出產(chǎn)安全的重要工序,在出產(chǎn)過(guò)程中的效果現(xiàn)已收到了廣泛認(rèn)可,應(yīng)用領(lǐng)域也越來(lái)越廣。檢漏設(shè)備能夠廣泛應(yīng)用于各行業(yè),可對(duì)各種有氣密性檢測(cè)要求的產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。
氣密性檢測(cè)可按測(cè)驗(yàn)手法分為兩大類,一類為水沒(méi)式走漏檢測(cè)法,即在向工件腔內(nèi)充進(jìn)必定壓力的氣體時(shí),將其浸人水中或涂肥皂泡,依據(jù)目測(cè)肥皂泡或水中的氣泡來(lái)斷定工件是否有漏及走漏的程度.現(xiàn)在,這種辦法在冰箱、空調(diào)的密封管道以及箱體檢漏時(shí)仍遍及選用。這種辦法測(cè)驗(yàn)功率低,受主觀因素影響較大,無(wú)法定量丈量,一起用這種辦法測(cè)驗(yàn)后,還有必要對(duì)工件進(jìn)行枯燥和防銹處理。6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過(guò)大(不超過(guò)41),清潔泵也同樣。
檢漏設(shè)備主要是用凈化枯燥空氣為作業(yè)介質(zhì)對(duì)具有必定內(nèi)容積的腔體的密封功能檢測(cè),亦能夠選用串聯(lián)、并聯(lián)辦法做其他檢測(cè)。但不能夠直接對(duì)氣-液相二相流改組、氣-固相二相流改組進(jìn)行檢測(cè),不然有或許得出不正確的測(cè)驗(yàn)成果或許對(duì)儀器形成不行修正的危害。
檢漏設(shè)備時(shí)刻參數(shù)的設(shè)定決議了檢測(cè)節(jié)拍,應(yīng)在滿意檢測(cè)需求的情況下盡量縮短,以進(jìn)步功率。充氣時(shí)刻能夠參閱檢測(cè)曲線,一般設(shè)定為能到達(dá)設(shè)定壓力后再添加1~2秒。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以-定能量注入質(zhì)分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。平衡時(shí)刻調(diào)查直壓面目一新率穩(wěn)定在某個(gè)值后即可,檢測(cè)時(shí)刻姑妄言之選用速率辦法一般設(shè)定為能調(diào)查到顯著壓降曲線的時(shí)刻。
半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因
1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;
2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;
3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。
4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會(huì)失效。
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測(cè)量目的可以分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中要根據(jù)檢驗(yàn)的目的選用合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運(yùn)用各種檢漏方法。
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