半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。

近幾年來，智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純已成功打開。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

氣 氣 高純氣體 高純氣 氣多少錢一瓶 除氦氣外，也可以用于配制深水作業用的呼吸混合氣。

通常，在潛水員處于深水高壓環境作業時，若采用普通壓縮空氣供氧，不但呼吸阻力高，而且壓縮空氣中的氮會部分溶解在血液中，當水深在40m以下時，會產生顯著的作用，在80m左右，生理機能基本喪失，人體衰竭。

由于輕氦族氣體（如氦、）對人體的能力很小或完全沒有能力，可以用它們來代替氮配制潛水員深海作業用呼吸混合氣。-氧或氦-氧呼吸混合氣由于有較低的密度和黏度，使壓力易于釋放，呼吸阻力減小，能有效地降低潛水員的體能消耗。對于氦-氧呼吸混合氣，由于聲速較高，聲音頻率改變大，存在深水通訊問題。再者，氦的執導率高，增加了人仃熱損失率，以至于常常必須使用有效的潛水衣和呼吸氣預熱器。在這方面，-氧呼吸混合氣比氦-氧呼吸氣好，因為它具有聲音畸變小和傳熱性差的優點。-氧呼吸混合氣適用于100-300m深水作業，超過300m，的密度增大，必須使用氦-氧呼吸混合氣。氦-氧呼吸氣已成功地在深海潛水作業，無論水深水淺，普遍采用氦-氧呼吸混合氣。為了克服各自的缺陷和不足，正在研究采用、氦、氧按不同比例配制深海潛水呼吸氣的可能。

氦氣在半導體、液晶面板和光纖線制造中起著重要作用，可實現零部件的快速冷卻，從而提高生產率，還能控制熱傳遞速率，以改善生產效率并減少缺陷；此外，氦氣還可在生產過程中充當載運氣體。

作為磁共振和超導磁體的理想冷凍氣體，氦氣可實現-451華氏度的深冷溫度，有效獲取內臟和組織的高分辨率圖像。

氦氣在電弧溫度條件下的惰性使其成為鋁、不銹鋼、銅和鎂合金等高導熱性材料焊接的理想氣體，還可用作熱處理過程中的淬火氣體以及熔爐氣體，提升零件耐性和質量

高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同。

例如對于氮，氫，，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；

而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；

對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。

高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。