氣體質量流量控制器的主要優點是什么？

(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產生誤差。 針對大部分流量控制系統來講，難以防止系統的工作壓力起伏及自然環境和物質的溫度轉變。針對一般的流量計，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對質量流量計 / 質量流量控制器，則一般可以忽略。

(2) 測量操縱的自動化技術 質量流量計 / 質量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動保存﹑電腦管理等。對質量流量控制器來講，還能夠完成流量的自動控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯接, 開展自動控制系統。

(3) 定量操縱流量 質量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對許多加工工藝全過程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

(4) 應用領域寬 有很寬的壓力范疇，可以適用真空環境和高壓環境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）

什么是氣體質量流量控制器？

氣體質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

質量流量控制器不僅具備質量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設定流量，MFC會自動地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環境溫度有轉變，也不會使其偏移設定值。簡易地說,質量流量控制器可以看成是一個穩流設備, 是一個可以手動式設置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩流設備。

氣體質量流量控制器應用領域

氣體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業、石油工業、環保和真空等多種領域的科研和生產并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

氣體質量流量控制器工作原理

氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實現這兩部門氣體流量成正比例關系。傳感器經由預熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現了MFC的功能。