廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 阿爾卡特真空泵維護

羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。阿爾卡特真空泵維護

分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數(shù)量級的規(guī)律，因此機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。阿爾卡特真空泵維護

對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)模化應用的真空機組得到大大的簡化。阿爾卡特真空泵維護

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 真空泵維修維護

真空泵在使用過程中，zui常出現(xiàn)的問題有：1、真空不足----旋片損壞，缸體磨損，轉子與缸體切點間隙變異，更換旋片，修復缸體，調整相應間隙2、流量不足----管道不通暢，泵浦沉積油垢，雜物，電壓降低清理輸送管道，清潔泵浦，調整電壓3、功率過大----超過額定流量使用，吸程過高，泵軸承磨損，調節(jié)流量關小出口閥門，降低吸程，更換軸承。真空泵維修維護

真空泵高溫解決方案

電機功率、轉速是和真空泵相匹配的，不能更改。風扇安裝于電機主軸上，電機轉速決定了風扇轉速，也不可更換。增加風扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。真空泵維修維護

(1)將原真空泵風扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機，軸流風機電機功率850W，轉速1489r/min，電壓380V。原風扇繼續(xù)保留。軸流風機另設一路電源控制，軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風機運行，真空泵停運后30min停運軸流風機，以使主電機得到充分冷卻。真空泵維修維護

(2)定期清除真空泵電機上灰塵，保持電機散熱片清潔，增加其散熱能力。

(3)將真空泵所在母線電壓調整為400V。

真空泵可單獨使用，也可用為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵、維持泵、鈦泵的預抽泵用。可用于電真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設備維修及儀器儀表設備配套和實驗室等。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 真空泵機組維修

真空泵的缸體與缸體之間是有縫隙的，密封套件就是用著這之間的位置，真空泵密封套件的好壞直接取決于真空泵的使用性能，比如密封不夠，就會引起真空度不達標等異常故障。真空泵機組維修

分子泵內部結構的設計和制造分為三個層次首先是分子泵的內部結構，即分子泵的外形。其次是分子泵的外形，包括兩種前面板和后面板。前面板采用鋼制材料,后邊板則采用鋁制材料。在前邊板上加裝了一個小型吸塵器，吸收灰塵。后邊板上安裝了一臺大功率電機。前邊板上安裝了一臺大功率電機，吸收灰塵。后面板上的吸塵器安裝在一起。這樣可以保證分子泵的正常運行。真空泵機組維修

分子泵內部結構采用三層前面板和后面板。前面板為鋁制材料，后邊是鋁制材料。這樣可以使得分子泵在工作時具有良好的吸附能力。前兩個層次為灰塵和粉末。真空泵機組維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 磁懸浮渦輪分子泵維修

含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設備，在集成電路刻蝕等工藝過程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結，附著在分子泵轉子及內壁，造成分子泵轉子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩(wěn)定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結，提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修

我們所稱呼的“質譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會從電子層脫出。結 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修

分子泵的工作區(qū)間是有限制的，*大啟動壓強也要在100pa，直接大氣啟動只會長期處于過載狀態(tài)運行，并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修

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