流體控制

流體控制是利用流體的各種控制元件（各種泵、閥門、油缸）及液壓系統(tǒng)附件（過濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等），組成控制閉式回路，以進行自動控制。

液壓控制 液壓控制用油液作為工作介質(zhì)，故能把由于功率的損耗而產(chǎn)生的熱量，從發(fā)生的地方帶到別處，這樣在一定的功率情況下，可以大大減小部件的尺寸；從負(fù)載的影響看，液壓系統(tǒng)具有機械上的剛性，用在閉環(huán)系統(tǒng)中，定位剛度較大，位置誤差較小；與機械機構(gòu)相比，液壓執(zhí)行器的響應(yīng)速度較高，能高速啟動、制動與反向，同時其力矩—慣量比也較大，因而其加速能力較強；液壓傳動易實現(xiàn)無級調(diào)速，具有自身潤滑等優(yōu)點。

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體積流量的表示方法

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)。

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

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