MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面，已經(jīng)成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監(jiān)測的重要器件，在嚴(yán)苛的環(huán)境中膜層防護(hù)性要求能具有較好的穩(wěn)定性是關(guān)鍵。涂覆了派瑞林的工業(yè)級傳感器，為手術(shù)機(jī)器人功能提升與柔性電子發(fā)展提供重要的技術(shù)支撐。

除了健康領(lǐng)域，MEMS柔性傳感系統(tǒng)可應(yīng)用的領(lǐng)域還包括運(yùn)動行業(yè)、可穿戴機(jī)械設(shè)備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內(nèi)置在鞋子中，可以實(shí)時檢測體重、發(fā)力姿勢、身體平衡性等；可穿戴設(shè)備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況，協(xié)助佩戴者提起重物、快速走動等；集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚，可以用于義肢上，感知佩戴者的動作意圖并協(xié)助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一，派瑞林鍍膜技術(shù)更好的提升了MEMS產(chǎn)品的表面防護(hù)性能。

1）沉積反應(yīng)如在氣固界面上發(fā)生則沉積物將按照原有固態(tài)基底（又稱襯底）的形狀包覆一層薄膜。

2）涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而改變從而獲得梯度沉積物或得到混合鍍層。

3）采用某種基底材料，沉積物達(dá)到一定厚度以后又容易與基底分離，這樣就可以得到各種特定形狀的游離沉積物器具。

4）在CVD技術(shù)中也可以沉積生成晶體或細(xì)粉狀物質(zhì)，或者使沉積反應(yīng)發(fā)生在氣相中而不是在基底表面上，這樣得到的無機(jī)合成物質(zhì)可以是很細(xì)的粉末，甚至是納米尺度的微粒稱為納米超細(xì)粉末。

5）CVD工藝是在較低壓力和溫度下進(jìn)行的，通過派瑞林鍍膜技術(shù)可增強(qiáng)材料斷裂強(qiáng)度和抗震性能是在較低壓力和溫度下進(jìn)行的。

現(xiàn)代科學(xué)技術(shù),特別是航天航空、電子及等科學(xué)技術(shù)高速發(fā)展對材料提出新的要求,尤其是航天航空工業(yè)對材料的要求更為苛刻。首先是要求材料性能穩(wěn)定,同時具有重量輕、耐高溫、耐沖刷、抗輻射等綜合的優(yōu)良性能。陶瓷涂層由此應(yīng)運(yùn)而生。

陶瓷涂層是在傳統(tǒng)的陶瓷材料基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型復(fù)合材料,它即保持了傳統(tǒng)陶瓷材料的耐高溫、抗磨損、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn),同時保持了基體材料的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,由于陶瓷涂層的厚度通常都在1毫米之內(nèi),大大地減少了零件的消極重量,其抗熱沖擊性能優(yōu)于整體陶瓷。

陶瓷絕緣涂料耐溫600℃以下，采用無機(jī)-有機(jī)聚合物基料，體積電阻率高、結(jié)構(gòu)緊密的無機(jī)晶體材料組成，如氧化鋁、氮化硅等為填料，以陶瓷微粒為高溫成膜物為主，組成耐高溫絕緣涂料。在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格控制原材料配比，避免雜散離子，尤其堿金屬或堿土金屬離子的引入；盡量減少玻璃相的含量，并盡量降低為改善工藝性能而加入的玻璃相的導(dǎo)電率。在生產(chǎn)過程中，還注意嚴(yán)格控制引入鐵，鈷等可變價金屬離子，以免產(chǎn)生自由離子和空穴。