現在行業中通用的測量方法基本是手動進行的，其劣勢在于手動測試受人為因素 (用力的大小，接觸面積等)影響較大，手動測試無法實現同一被測物目標的多次數值的重現，手動測試時只能達到每次測試出來一個數值，無法做產品的分析。根據電解質的種類可分為氯化物熔鹽體系和氟化物-氧化物熔鹽體系電解法，多用于制取以鑭為主的混合稀土金屬以及鑭、鐠、釹等單一稀土金屬。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大，無法測量，導致不能得出的數值，從而不能保證廣品的品質。

稀土礦冶煉方法有兩種，即濕法冶金和火法冶金。

濕法冶金屬化工冶金方式，全流程大多處于溶液、溶劑之中，如稀土精礦的分解、稀土氧化物、稀土化合物、單一稀土金屬的分離和提取過程就是采用沉淀、結晶、氧化還原、溶劑萃取、離子交換等化學分離工藝過程。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。現應用較普遍的是溶劑萃取法，它是工業分離高純單一稀土元素的通用工藝。濕法冶金流程復雜，產品純度高，該法生產成品應用面廣闊。

背靶的選擇

對材質的要求：一般選用無氧銅和鉬靶，厚度在3mm左右

導電性好：常用無氧銅，無氧銅的導熱性比紫銅好；

強度足夠：太薄，易變形，不易真空密封。

結構要求：空心或者實心結構；

厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。

銦焊綁定的流程

1.綁定前的靶材和背板表面預處理

2.將靶材和背板放置在釬焊臺上，升溫到綁定溫度

3.做靶材和背板金屬化

4.粘接靶材和背板