凈化工程于該區域生產操作人員和經批準的人員進入，非經允許嚴禁人員隨便出入，并且人員進出時要注意隨時關門。凈化工程是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。凈化工程常用材料是PVC地板，有卷材、片材PVC地板，防靜電(表面電阻106-109ΩPVC地板可供選擇，顏色多樣。

凈化工程潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。凈化工程是指需要對塵粒及微生物含量進行控制的區域，該區域的建造結構、裝備及使用不僅能夠截留粒子而且會盡可能地減少粒子向該區域介入。潔凈室內密封控制重點內容是圍護結構的密封施工質量，如板材與板材之間應均勻涂密封膠，達到嚴密不漏風。

光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。級別zui高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。

凈化車間的檢測，將受測試房間與真空泵或排風機連接，使房間與室外達到500pa的負壓差。壓差穩定后關閉房間與真空泵或排風機之間的閥門。電話和火警設備不能缺少。凈化工程需設置電話、對講電話，可以減少人員在潔凈區走動，減少發塵量，也可在萬一發生火災時及時與外部聯系，也為正常工作聯系創造條件。凈化工程風淋室相當于凈化室的道屏障，具體型號由單位時間通過的人數決定。風淋室安裝時，各接縫處應嚴格密封。