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在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內的浮游微粒子濃度,使用的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔凈度就可以維持。機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。
無塵潔凈室中的三塵。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的好凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域,達到生產車間所要求的生產潔凈環境。