氫氣檢漏法的主要設備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空設備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。真空箱氫氣檢漏設備真空打檢機/真空檢漏機采用聲學技術，非接觸式在線檢測方式，速度800瓶每分鐘。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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真空設備檢漏

北京科儀真空技術有限公司（簡稱：科儀）出資成立，創建于2015年，注冊資金500萬。科儀產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統等非標真空產品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環境模擬設備等高新技術產品。基本工作原理是使用專門開發的氫氣傳感器，它只對氫氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。所有的氦氣檢漏儀器機構的離子收集板，對氦氣都會產生記憶效應，即氦離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。HLT260型氦質譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協同作業以提高xiao率）。水壓法對壓力容器或密封裝置進行試驗時，先將容器或密封裝置內部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設備或密封裝置周圍有無水漏出。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數值，則必須等待整個測量系統的真空達到穩態，

如何正確使用氦氣檢漏設備？

在填充檢漏氣體之前，有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。

如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進行泄漏測試，那么氦氣檢漏設備就不能檢測到一些泄漏孔。因此，在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現的泄漏孔。