配管的準(zhǔn)備工作

(1)無(wú)論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，下料時(shí)均不得采用氧、乙i炔焰切割。無(wú)論是機(jī)械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤(rùn)滑劑。

(2)管子切口應(yīng)當(dāng)與管軸線嚴(yán)格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應(yīng)當(dāng)重新試壓。

(4)波紋管等無(wú)法拆解成零部件的閥門，應(yīng)在組裝的情況下清洗。對(duì)清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門各處，閥門流出的溶劑過(guò)濾后用顯微鏡檢查過(guò)濾器表面情況是否符合設(shè)計(jì)要求。

(5)采用普通不銹鋼管時(shí)，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應(yīng)當(dāng)將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等，應(yīng)當(dāng)嚴(yán)格禁油，并在安裝前按有關(guān)要求嚴(yán)格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個(gè)別生產(chǎn)工藝如GaAs的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)

（1）通過(guò)氣瓶和輸送管道將載氣輸送給儀器，在氣瓶出口裝有單向閥，可避免更換氣瓶時(shí)有空氣和水分混入，另外在一端安裝泄壓開(kāi)關(guān)球閥，將多余的空氣和水分排放后再接入儀器管道，保證儀器用氣的純度。

（2）集中供氣系統(tǒng)采用二級(jí)減壓保證壓力的穩(wěn)定，采用二級(jí)減壓的方式，一是，經(jīng)過(guò)第i一級(jí)減壓后，干路壓力比氣瓶壓力大大降低，起到了緩沖管道壓力的作用，提高了用氣的安全，降低了應(yīng)用的風(fēng)險(xiǎn)，二是保證儀器供氣入口壓力的穩(wěn)定，降低了因?yàn)闅怏w壓力波動(dòng)而引起的測(cè)量誤差，保證了儀器使用的穩(wěn)定性。（13）氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。

（3）由于實(shí)驗(yàn)室有些儀器需要使用易i燃?xì)怏w，如甲i烷，乙i炔，氫氣，做這易i燃?xì)怏w的管路時(shí)，應(yīng)注意管路盡量短，減少中間接頭的連接，同時(shí)，氣瓶一定裝入防爆氣瓶柜內(nèi)，氣瓶輸出端接回火器，可阻止火焰回流氣瓶引起的爆i炸，防爆氣瓶柜頂端應(yīng)有連接到室外的通風(fēng)排氣口，且有泄漏報(bào)警裝置，一旦泄漏能及時(shí)報(bào)警并將氣體排到室外。氣體管道安裝在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)領(lǐng)域中，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)是相當(dāng)重要的。

實(shí)驗(yàn)室氣體工程安裝注意事項(xiàng)

（1） 管徑為1/8的管路很細(xì)且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級(jí)減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮?dú)猓珹r，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經(jīng)減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級(jí)減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級(jí)減壓器量程為0—4 Mpa，二級(jí)減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮?dú)猓珹r，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，一是正轉(zhuǎn)鋼瓶接頭，另一是反轉(zhuǎn)。大氣瓶用的是反轉(zhuǎn)，小氣瓶用的是正轉(zhuǎn)。

（4） 氣體管路每隔1.5m設(shè)一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應(yīng)設(shè)固定件。

（5） 氣體管路應(yīng)沿墻明設(shè)，以便安裝維護(hù)。