配管的準備工作

(1)無論多大壓力、何種介質及何種用途的配管，下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應在安裝前清洗，清洗前先應研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應當重新試壓。

(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。

(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應當將原管放入清洗槽內清洗。管道內壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求嚴格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質。用于輸送高純氣體的金屬管道材質主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導體企業中，個別生產工藝如GaAs的操作，為了防止產生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。

實驗室供氣系統設計要點

（1）通過氣瓶和輸送管道將載氣輸送給儀器，在氣瓶出口裝有單向閥，可避免更換氣瓶時有空氣和水分混入，另外在一端安裝泄壓開關球閥，將多余的空氣和水分排放后再接入儀器管道，保證儀器用氣的純度。

（2）集中供氣系統采用二級減壓保證壓力的穩定，采用二級減壓的方式，一是，經過第i一級減壓后，干路壓力比氣瓶壓力大大降低，起到了緩沖管道壓力的作用，提高了用氣的安全，降低了應用的風險，二是保證儀器供氣入口壓力的穩定，降低了因為氣體壓力波動而引起的測量誤差，保證了儀器使用的穩定性。（13）氫氣和氮氣的氣瓶存放間應有每小時不小于三次換氣的通風措施。

（3）由于實驗室有些儀器需要使用易i燃氣體，如甲i烷，乙i炔，氫氣，做這易i燃氣體的管路時，應注意管路盡量短，減少中間接頭的連接，同時，氣瓶一定裝入防爆氣瓶柜內，氣瓶輸出端接回火器，可阻止火焰回流氣瓶引起的爆i炸，防爆氣瓶柜頂端應有連接到室外的通風排氣口，且有泄漏報警裝置，一旦泄漏能及時報警并將氣體排到室外。氣體管道安裝在實驗室設計領域中，實驗室供氣系統的規劃設計是相當重要的。

實驗室氣體工程安裝注意事項

（1） 管徑為1/8的管路很細且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級減壓器量程為0—4 Mpa，二級減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，一是正轉鋼瓶接頭，另一是反轉。大氣瓶用的是反轉，小氣瓶用的是正轉。

（4） 氣體管路每隔1.5m設一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應設固定件。

（5） 氣體管路應沿墻明設，以便安裝維護。