廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

羅茨真空泵市場

從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，軸封漏油問題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

分子泵葉片破碎的原因：

答：造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點(diǎn)：

①、誤操作;比如突然的破真空，因?yàn)檗D(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。

②、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

③、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。

④、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

⑥、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

氣載、熱氣體、突變氣載

a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉(zhuǎn)子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間7磁場屏蔽出現(xiàn)的問題

旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：

①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；

②、轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；

③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；

④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。

分子泵在磁場中運(yùn)轉(zhuǎn)時，徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護(hù)成本IDP-3的采購價格及維護(hù)包價格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗(yàn)使用精密的測聲計，并通過ISO標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測試：在操作人員位置的測試結(jié)果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

安捷倫發(fā)布了全新一代高真空渦輪分子泵 TwisTorr 704FS。作為一款加持了諸多“黑科技”的全新產(chǎn)品，TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵在具有高可靠性的同時，還能做到更經(jīng)濟(jì)。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

安捷倫真空近年來陸續(xù)發(fā)布了多個型號的 TwisTorr 分子泵，該系列把分子泵的典型工作范圍從高真空擴(kuò)展到了超高真空（參考文章：安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點(diǎn)介紹）。近日，針對一些對壓縮比要求不高而氣體流量很大的應(yīng)用，安捷倫真空又發(fā)布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

抽速、壓縮比等性能參數(shù)是分子泵設(shè)計之初就要首先考慮的，也是各項(xiàng)設(shè)計調(diào)整優(yōu)化的重要目標(biāo)。產(chǎn)品定型時，安捷倫對外發(fā)布的各項(xiàng)參數(shù)和曲線，比如下圖的抽速和壓縮比曲線，都來自于這些測試的結(jié)果。這些測試都有相關(guān)的資質(zhì)，在此不再展開描述。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

分子泵：安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨(dú)有的AFS懸浮軸承技術(shù)，工作時振動非常低，被廣泛地應(yīng)用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個位于日本的業(yè)界，從2015年起，在其生產(chǎn)的電子顯微鏡上使用了1000多臺安捷倫分子泵，泵的可靠性非常接近，實(shí)測的振動水平低于0.01米/秒2，噪聲等級更是只有40dB(A)。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵不轉(zhuǎn)

當(dāng)磁場逐步增加后，被測分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升，當(dāng)磁場強(qiáng)度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。