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離子鍍膜產品的品質更優。真空蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜都主要利用中性粒子成膜,在膜層粒子到達基片時的速度較低,因而會產生諸如沉積速率低、膜層附著力差、膜層不致密等問題,而離子鍍可以很好解決上述問題。
鍍膜生產過程及鍍制的產品對環境友好。鍍膜工藝流程簡單,不需要消耗銅、鎳、鎘等gui金屬,不使用強酸、強堿和qin化物、鉻酐等有毒有害化學品,污染物(特別是重金屬、qin化物)排放少;水耗較低,只需少量循環冷卻用水。同時,還可提高鍍制產品的質量,增加鍍膜品種,實現節能、減排、降耗、增效的目的。
以年鍍30萬只17英寸鋁合金汽車輪轂生產線為例,采用綠色鍍膜技術可節水90萬噸,節電760萬千瓦時,減少污水排放110萬噸,減少銅、鎳等重金屬消耗近200噸,價值3000萬元,鍍膜成本只是電鍍的1/3。
全部這種微小量的添加劑往往能起大的作用,根本原因是這種添加劑是在負極區段的表面雙電層內起作用的,擁有相近表面表活劑的特性,只需單分子結構膜等級的添加劑進到雙電層并干涉金屬離子在負極復原的全過程,就會使鍍層的結晶發生改變,朝著我們希望的結果變化。
電鍍加工的關鍵點是十分關鍵的,那么在電鍍加工全過程中要注意什么呢?產品設計時,要留意設計方案合理的表層樣子,聯接加工工藝中留意少留盲區,以防止水份或別的腐蝕物質的留存,導致縫隙腐蝕
11為何機臺必須使用冷卻水時,必須控制水質純凈?
答:防止結垢,或絕緣
12為何制程(process)氣體管路必須加熱( from gas box to chamber)?
答:防止制程氣體冷凝為液體,影響制程.
13何謂PM ?機臺為何要定期PM?
答:PM(preventive maintenance)是預防保養. 按周期對機臺相應的Parts(備品)采取相應的維護或更換措施,為保持機臺性能的穩定,防止制程良率下降,延長機臺及Parts壽命.
(1) 依時程而分,可分為月保養,季保養,年保養.
(2) 依wafer 數量而分,是為數量保養.
14為何工程師做PM時,必須先冷卻加熱器(heater) 至(room temp.)適當的溫度?
答:為了工程師安全及機臺安全
15為何工程師做PM時,chamber必須bake out?
答:為了排氣,防止不純氣體進入film 中,影響制程
16PVD與W-CVD在IC制造中扮演什幺角色?
答:鋁與鎢為金屬層,連通device 與封裝的導線,在二者之間形成通路,電流得以暢通無阻.(attached drawing)