離子鍍膜產(chǎn)品的品質(zhì)更優(yōu)。真空蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜都主要利用中性粒子成膜，在膜層粒子到達(dá)基片時(shí)的速度較低，因而會(huì)產(chǎn)生諸如沉積速率低、膜層附著力差、膜層不致密等問題，而離子鍍可以很好解決上述問題。

鍍膜生產(chǎn)過程及鍍制的產(chǎn)品對環(huán)境友好。鍍膜工藝流程簡單，不需要消耗銅、鎳、鎘等gui金屬，不使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和qin化物、鉻酐等有毒有害化學(xué)品，污染物(特別是重金屬、qin化物)排放少;水耗較低，只需少量循環(huán)冷卻用水。同時(shí)，還可提高鍍制產(chǎn)品的質(zhì)量，增加鍍膜品種，實(shí)現(xiàn)節(jié)能、減排、降耗、增效的目的。

以年鍍30萬只17英寸鋁合金汽車輪轂生產(chǎn)線為例，采用綠色鍍膜技術(shù)可節(jié)水90萬噸，節(jié)電760萬千瓦時(shí)，減少污水排放110萬噸，減少銅、鎳等重金屬消耗近200噸，價(jià)值3000萬元，鍍膜成本只是電鍍的1/3。

全部這種微小量的添加劑往往能起大的作用，根本原因是這種添加劑是在負(fù)極區(qū)段的表面雙電層內(nèi)起作用的，擁有相近表面表活劑的特性，只需單分子結(jié)構(gòu)膜等級的添加劑進(jìn)到雙電層并干涉金屬離子在負(fù)極復(fù)原的全過程，就會(huì)使鍍層的結(jié)晶發(fā)生改變，朝著我們希望的結(jié)果變化。

電鍍加工的關(guān)鍵點(diǎn)是十分關(guān)鍵的，那么在電鍍加工全過程中要注意什么呢?產(chǎn)品設(shè)計(jì)時(shí)，要留意設(shè)計(jì)方案合理的表層樣子，聯(lián)接加工工藝中留意少留盲區(qū)，以防止水份或別的腐蝕物質(zhì)的留存，導(dǎo)致縫隙腐蝕

11為何機(jī)臺必須使用冷卻水時(shí)，必須控制水質(zhì)純凈?

答：防止結(jié)垢，或絕緣

12為何制程(process)氣體管路必須加熱（ from gas box to chamber）?

答：防止制程氣體冷凝為液體，影響制程.

13何謂PM ?機(jī)臺為何要定期PM?

答：PM（preventive maintenance）是預(yù)防保養(yǎng). 按周期對機(jī)臺相應(yīng)的Parts(備品)采取相應(yīng)的維護(hù)或更換措施，為保持機(jī)臺性能的穩(wěn)定，防止制程良率下降，延長機(jī)臺及Parts壽命.

(1) 依時(shí)程而分，可分為月保養(yǎng)，季保養(yǎng)，年保養(yǎng).

(2) 依wafer 數(shù)量而分，是為數(shù)量保養(yǎng).

14為何工程師做PM時(shí)，必須先冷卻加熱器(heater) 至(room temp.)適當(dāng)?shù)臏囟?

答：為了工程師安全及機(jī)臺安全

15為何工程師做PM時(shí)，chamber必須bake out?

答：為了排氣，防止不純氣體進(jìn)入film 中，影響制程

16PVD與W-CVD在IC制造中扮演什幺角色?

答：鋁與鎢為金屬層,連通device 與封裝的導(dǎo)線,在二者之間形成通路，電流得以暢通無阻.(attached drawing)