小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

由于旋片式真空泵的抽氣過程是一緊縮進程，故當(dāng)有水蒸氣之類的可凝性氣體時，假如在排出泵腔前到達其飽和蒸汽壓力，則會凝結(jié)在真空油中，使泵內(nèi)的真空油乳化蛻變，光滑密封功能變壞，凝結(jié)物在吸氣腔中還會重新變成氣態(tài)，使真空度降低。據(jù)引見，當(dāng)含水超越50%時，還會毀壞光滑功能，形成頻繁換油和糜費。在油旋片真空泵中，我們常稱皮帶傳動的為旋片式真空泵，而把泵與電機間接銜接或用聯(lián)軸器銜接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。所以在抽的氣含有水時我們應(yīng)選擇水環(huán)直空泵或在抽氣前先過濾水份。

旋片式真空泵漏油，可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭，定子部件與支座的通孔銜接處，氣鎮(zhèn)閥等部位。可由密封件老化，裝置不當(dāng)，運行時間久損壞，外表不平整，有雜質(zhì)，粗糙和鑄件疏松等引起。假如停泵后返油，油會進入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油。軸封采用機械密封，具有結(jié)構(gòu)簡單，安裝簡捷、無油、安全可靠等特點。發(fā)生這些現(xiàn)象時可遂一檢查這些部位，如有損壞的更換即可。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。