氦質譜檢漏儀是如何工作的?氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的,我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調節加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉半徑而被分開。

檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點，檢漏步驟為: .1.用內徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發現漏點，這時發現的漏點都較大，然后應立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。2.第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些， 重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。可先用氮氣或其它惰性氣體將設備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設備的內壓增加至測試壓力且 應使設備內部至少含有10%-20%的氦氣含量。

氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。氦質譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染。