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無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的很 好地凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域,達到生產車間所要求的生產潔凈環境。
在進行潔凈室凈化工程的平面布局時有必要契合國家的現行標準中有關安全出產、消防、環保和工作衛生方面的各種要求;在進行潔凈室凈化工程平面布局時應充分考慮、物流的安排.極力做到短捷、流暢。在空間規劃時應分考慮產品出產過程和潔凈室凈化工程裝飾內各種管線、物流運送的合理安排。在確定潔凈廠房的平面、空間安置后,對潔凈室凈化工程規劃涉及的各個提出規劃內容、技能要求及規劃中應留意的相關問題。
我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初,在70年代電子工業潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時,潔凈廠房用設備和資料,如過濾器,潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產,雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距,但已能滿足國內部分需求,到20世紀70年代末我國潔凈室規劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。