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混合氣gas mixture,指含有兩種或兩種以上有效組份,或雖屬非有效組份但其含量超過(guò)規(guī)定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物,是工程上常用的工質(zhì)。混合氣體通常被當(dāng)作理想氣體研究。
在室內(nèi)使用氣體時(shí)請(qǐng)保持室內(nèi)通風(fēng),以防或窒息;發(fā)現(xiàn)管道、減壓閥等地方漏氣時(shí),請(qǐng)停止使用并盡快檢修;不可將鋼瓶氣體全部用完,請(qǐng)保留0.5MPa殘余壓力,液化氣體請(qǐng)保留2%殘留氣體.
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電子工業(yè)用混合氣是指在大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導(dǎo)體器件制造中,用于氣相外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相淀積、攙雜、蝕刻和離子注入等工藝(工序)的一類(lèi)特殊電子混合氣。主要有外延(生長(zhǎng))混合氣、化學(xué)氣相淀積用混合氣、攙雜混合氣、蝕刻混合氣和其他電子混合氣。
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將混合氣體看成一種純物質(zhì)時(shí),常使用折合摩爾質(zhì)量Μ和折合氣體常數(shù)R
混合氣體的密度等于各組成氣體在混合氣體的總壓力和溫度下之密度與其容積成分的乘積之和。
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