氣體質量流量控制器的密封材料如何選擇？

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質量流量控制器流速和流量之間的關系

流量通常分為體積流量、質量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質重度（N/㎡），M代表氣體的質量流量（kg/s）。

氣體質量流量控制器的零點漂移？

微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數值的，但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時，對零點漂移的數值有疑問，那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質量流量控制器和流量計會有零點漂移情況，零點漂移也就是管道中已經沒有介質流動但質量流量計仍顯示流量值。如果是零點出現大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開各種閥門，全部排空氣體管路，防止設備或管路憋壓。

一般造成質量流量計零點漂移的因素有許多，解決質量流量計零漂問題，首先要定期進行零點檢查和調整，二是需要和工藝配合來解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質微量流動也會導致質量流量控制器/質量流量計的零點漂移，出現這種漂移時，要關閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來使用），使管道內處于完全零流狀態或在管道適當位置設置排氣口，消除管道內的壓力和氣流，從而達到消除零點漂移。

氣體質量流量控制器對于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準, 不能超過該產品要求的較大壓力。

3、產品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效，還容易產生危險。