氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。

氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì)影響傳感器的測(cè)量精度和數(shù)值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí)，對(duì)零點(diǎn)漂移的數(shù)值有疑問(wèn)，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)會(huì)有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計(jì)仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現(xiàn)大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開(kāi)各種閥門(mén)，全部排空氣體管路，防止設(shè)備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計(jì)零漂問(wèn)題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整，二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的零點(diǎn)漂移，出現(xiàn)這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計(jì)前段的電磁閥（流量控制器不能當(dāng)做截止閥來(lái)使用），使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當(dāng)位置設(shè)置排氣口，消除管道內(nèi)的壓力和氣流，從而達(dá)到消除零點(diǎn)漂移。

氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶(hù)有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。