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近年,隨著圖像質量的提高,色粉直徑也越來越小。在微孔孔徑較大的發泡輥筒中,色粉進入輥筒的微孔內不易去除,所以存在圖像混亂的問題。因此,對于使用微細色粉的高畫質復印機和打印機用輥筒,特別是色粉供給輥,要求更細的微孔。在制造發泡輥筒時,與間歇式方法相比,連續硫化處理法的優點是能夠使發泡微孔的直徑更小。對橡膠組合物進行硫化處理的方法包括使用加壓裝置和硫化處理槽的間歇式或連續式硫化法。以往的導電輥使用了不會因其中的導電性填充劑的不均勻而導致電阻值不均勻的離子導電性橡膠,但是問題在于很難采用經濟上及效率上都有利的連續硫化法進行制造。
各種純度鋁中的雜質含量及剩余電阻率如表2所示。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定,其值約為2×10-5。現代科學技術的發展趨勢是對金屬純度要求越來越高。因為金屬未能達到一定純度的情況下,金屬特性往往為雜質所掩蓋。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結添加劑,能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材,這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關系極大。不僅是半導體材料,其他金屬也有同樣的情況,由于雜質存在影響金屬的性能。
鎢過去用作燈泡的燈絲,由于脆性而使處理上有困難,在適當提純之后,這種缺點即可以克服(鎢絲也有摻雜及加工問題)。
濺射靶材ITO靶材的生產工藝ITO靶材的生產工藝可以分為3種:熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結法。各種生產工藝及其特點簡介如下:
熱等靜壓法:ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預先成形的胚體,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結。熱等靜壓工藝制造產品密度高、物理機械性能好,但設備投入高,生產成本高,產品的缺氧率高。區域提純后的金屬鍺,其錠底表面上的電阻率為30~50歐姆厘米時,純度相當于8~9,可以滿足電子器件的要求。