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分子泵不能在前級泵工作時(前級管道接通)和真空室處于真空狀態時將渦輪分子泵停掉,否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵內。

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真空泵的極限壓力可以簡單理解為這臺泵*高能抽到的真空泵。 測試一般是盲死抽氣口,測試此時真空泵所抽的負壓是多少。 6*10-2pa一般是雙極旋片式真空泵的極限真空度,意思為0.06pa

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渦輪分子泵可以用于各類質譜儀(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、鍍膜機、電子顯微鏡(SEM、TEM)、聚焦離子束系統(FIB)、表面分析儀器,高能物理實驗裝置、粒子、高真空實驗裝置等諸多應用。

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